Urządzenie mikroelektromechaniczne i sposób jego wytwarzania oraz elementy realizacji technicznej

Techniczne elementy realizacji:

4. W świetle powyższych problemów, proponuje się niniejszy wynalazek. Niniejszy wynalazek zapewnia nową konstrukcję urządzenia mem, która pozwala uniknąć stosowania belek wspornikowych, ma większą trwałość i ma prostszą konstrukcję. Niniejszy wynalazek dostarcza również nowatorski sposób wytwarzania urządzenia mems, który obejmuje proste etapy procesu i może poprawić wydajność wytwarzania.

5. Zgodnie z przykładem wykonania, urządzenie mikroelektromechaniczne może zawierać: podłoże izolacyjne; słupek podtrzymujący umieszczony na podłożu, słupek podtrzymujący podtrzymujący masę próbną; otaczanie podłoża na podłożu Jedna lub więcej par płytek elektrodowych umieszczonych na bloku masowym, każda para płytek elektrodowych jest umieszczona po przeciwnych stronach bloku masowego; oraz izolacyjną płytkę przykrywającą, na której umieszczona jest para płytek elektrodowych odpowiadająca jednej lub większej liczbie par płytek elektrodowych lub wiele par elektrod, gdy płytka przykrywająca zakrywa jedną lub więcej par płytek elektrodowych, jedną lub więcej par elektrod są odpowiednio w kontakcie elektrycznym z jedną lub większą liczbą par płytek elektrod.

6. W niektórych przykładach wykonania słupek wsporczy, masa próbna i jedna lub więcej par płytek elektrod są wykonane z materiału przewodzącego lub półprzewodnikowego, a przewody przewodzące połączone ze słupkiem wsporczym są połączone z jednej strony podłoża. Wyprowadzić, przewody przewodzące połączone z jedną lub większą liczbą par elektrod są wyprowadzone z jednej strony płytki przykrywającej.

7. W niektórych przykładach wykonania płytka zakrywająca jest utworzona z otworem pomiędzy jedną lub większą liczbą par elektrod, aby odsłonić słupek nośny i masę próbną.

8. W niektórych przykładach wykonania wysokość masy próbnej jest mniejsza niż wysokość jednej lub więcej par płytek elektrod.

9. W niektórych przykładach wykonania urządzenie mikroelektromechaniczne jest używane jako akcelerometr, a jedna lub więcej par płytek elektrod jest używanych do pomiaru zmian pojemności spowodowanych zmianami położenia masy próbnej.

10. W niektórych przykładach wykonania urządzenie mikroelektromechaniczne jest używane jako żyroskop, a co najmniej jedna para płytek elektrody obejmuje co najmniej pierwszą parę płytek elektrod i drugą parę płytek elektrod, przy czym pierwsza para płytek elektrod dla napędu A sygnał jest doprowadzany do oscylowania masy próbnej między pierwszą parą płytek elektrodowych, a druga para płytek elektrodowych służy do pomiaru zmian pojemności spowodowanych zmianami położenia masy wzorcowej.

Skontaktuj się z nami:

Email: zhang@pride-cnc.com

Telefon: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894