Metoda wytwarzania urządzenia MEMS

zakres techniczny

1. Niniejsze ujawnienie dotyczy urządzenia mes z ulepszonym rozkładem naprężeń.

Technika tła:

2. Jak dobrze wiadomo, urządzenia elektroniczne mems ("Micro Electro Mechanical Systems"), takie jak siłowniki i/lub czujniki, są zazwyczaj formowane na podłożu mieszczącym wnękę i zawierają ruchome struktury zawieszone z wnęki powyżej i ograniczone przez sprężysty element do ustalonego obszaru. Podłoże, ruchoma struktura i elastyczny element mogą być integralne i są zazwyczaj wykonane z materiału półprzewodnikowego, takiego jak krzem.

3. Te urządzenia elektroniczne obejmują również: jedną lub więcej struktur uruchamiających i/lub wykrywających, połączonych z ruchomą strukturą; a elektryczne obwody sterujące, zintegrowane w tym samym podłożu lub utworzone w różnych podłożach, a sprzężenie ze strukturą uruchamiającą i/lub wykrywającą może dostarczać elektryczne sygnały sterujące do struktury uruchamiającej i/lub odbierać elektryczne sygnały wykrywające ze struktury wykrywającej.

4. W szczególności, struktura uruchamiająca może powodować przemieszczenie, np. obrót, struktury ruchomej, gdy jest sterowana przez odpowiedni elektryczny sygnał napędowy. Podobnie, konstrukcja wykrywająca jest skonfigurowana do generowania odpowiednich sygnałów elektrycznych, które są funkcją warunków pracy konstrukcji ruchomej i na przykład funkcją zakresu obrotu konstrukcji ruchomej.

5. Elektryczny obwód sterujący i struktura uruchamiania i/lub wykrywania są zazwyczaj elektrycznie połączone ze sobą ścieżkami przewodzącymi, np. utworzonymi ze stosu warstw przewodzących.

6. Szyny przewodzące na ogół rozciągają się na powierzchniach stałych, elementach elastycznych, a czasem częściowo na konstrukcjach ruchomych.

7. Podczas użytkowania przemieszczenie konstrukcji ruchomej powoduje odkształcenie, np. skręcenie, elementów sprężystych, które ograniczają konstrukcję ruchomą do obszaru stałego.

Skontaktuj się z nami:

Email: zhang@pride-cnc.com

Telefon: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894